超级精密激光制造系统
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主要型号：SPLM-0200/0100-1064/1030/780/515/355
| 主要相关参数 | |
| 适用激光波长[nm] | 1064/1030/780/515/355 |
| 适用激光脉冲宽度 | 290fs-10ps@1030 nm & 515 nm, ＜100fs@780fs |
| 适用激光器功率 | 25mw-20w |
| 成像波长[nm] | 420-680 |
| 像方视野[mm] | Φ25/Φ12.5 |
| 匹配物镜 | 10x，20x，50x |
| 加工幅面[mm*mm] | 1.7*1.7/1*1/0.3*0.3 |
| 聚焦光斑直径[μm] | 5/3/2@1064nm |
| 激光损伤阈值 | 5.0J/cm^2 (10ns，10hz，1064nm) |
| 是否有照明光源 | 是（科勒照明） |
| 是否有相机接口 | 是（C接口） |
| 是否有成像靶标 | 是（十字靶标，用于光学对焦） |
| 是否配激光自动对焦 | 选配 |
| 匹配振镜 | 激光光束10mm/14mm |
| 主要应用领域 | 1. 多光子聚合 a 添材制造技术； b 微纳级3D结构； c 适用于多种聚合物 2. 选择性激光刻蚀 a 减材制造技术； b 任意微米级3D结构； c 适用于多种透明材料； 3. 激光烧蚀 a 激光减材技术； b 微纳级切割、打孔和表面结构； c 适用于多种金属、聚合物等其他材料等； 4. 复合激光制造复合工艺、多种材料、多种结构 |
