基本原理:
贝塞尔切割头是将高斯光束转换成适用于激光精密加工的贝塞尔光束的一套光学系统。该系统大致可以分为两个部分:1.贝塞尔光束转换模块(常用衍射光学器件或者折射型光学镜片);2.贝塞尔光束聚焦模块(主要器件为长工作距离物镜或者高精度非球面镜片等)。其工作波长范围可以从紫外延伸至外红(常用激光波长为355nm,532nm,1030-1080nm,2000nm,以及9400nm等波段),最终的聚焦光斑直径以及切割头的有效焦深(即为贝塞尔光束无衍射区域的长度)均可以通过优化具体参数(转换器件/聚焦模块)实现灵活配置。不同型号切割头对应的聚焦光斑直径和有效焦深,以及部分所需激光器能量等参数,请见下表。
结合实际使用场景,该切割头可以配套同轴照明、同轴成像以及同轴激光测距等更多细分的功能模块。同时,针对一些特殊材料的切割等应用情况,该切割头可以调制入射激光束的偏振状态,以及聚焦光斑的椭圆度等具体指标。
显著优点:
焦深可定制(0.2mm-19mm),加工范围广;
加工断面光滑,可以实现“镜面”效果,容易裂片;
无锥度,切割断面效果一致性好;
定制焦深,获取更高的激光能量利用率,提升产能;
配同轴成像系统,可以实时可视化精密加工;
可定制的多样性脆性材料精密加工技术;
绿光,红外均可定制;
超级玻璃,一刀切割19mm;
青玻璃,一刀切割12mm;
主要应用:
全面屏手机盖板玻璃的精细加工;
摄像头保护盖板的精密切割;
蓝宝石无锥度精细加工;
晶圆切割和液晶面板切割;
微流控器件等领域的微细处理;
特殊镀膜玻璃的切割;
建筑装饰玻璃的切割;
光学玻璃的开料等;
切割效果:
基础配置:
型号 | 工作波长(nm) | 焦深(mm) | 工作距离 (mm) | 光斑直径 (μm) | 加工材料类别 | 备注信息 |
EC-22-P | 1064 | 0.3 | 6 | 2.5 | 玻璃/蓝宝石/LCD屏幕 | |
EC-22 | 1064 | 0.4 | 9 | 1.5 | 玻璃/蓝宝石/LCD屏幕 | |
EC-22-E | 1064 | 0.45 | 9 | 1.5 | 玻璃/蓝宝石/LCD屏幕 | |
EC-22-K | 1064 | 0.8 | 9 | 2.0 | 玻璃/蓝宝石/LCD屏幕 | |
EC-11 | 1064 | 1.0 | 9 | 2.0 | 玻璃/蓝宝石 | |
EC-11-S | 1064 | 1.4 | 9 | 2.3 | 玻璃/蓝宝石 | |
EC-11-P | 1064 | 1.8 | 9 | 2.5 | 玻璃/蓝宝石 | 石英物镜 |
EC-12 | 1064 | 2.0 | 9 | 2.6 | 玻璃/蓝宝石 | |
EC-13 | 1064 | 3.0 | 9 | 3.5 | 玻璃 | |
EC-13-S | 1064 | 3.0 | 15 | 3.5 | 玻璃 | |
EC-15 | 1064 | 5.0 | 9 | 4.0 | 玻璃 | |
EC-16 | 1064 | 2-8 | 15 | 3.2 | 超白玻璃/青玻璃 | |
EC-18 | 1064 | 8.0 | 32 | 4.0 | 超白玻璃 | |
6.0 | 32 | 4.0 | 青玻璃 | |||
EC-110 | 1064 | 10.0 | 32 | 4.6 | 超白玻璃 | |
8.0 | 32 | 4.6 | 青玻璃 | |||
EC-112 | 1064 | 12.0 | 32 | 4.8 | 超白玻璃 | |
EC-115 | 1064 | 15.0 | 32 | 5.0 | 超白玻璃 | 激光器能量2.5mj |
12.0 | 32 | 5.0 | 青玻璃 | 激光器能量2.5mj | ||
EC-119 | 1064 | 19.0 | 15 | 4.0 | 白玻璃 | 激光器能量3.0mj |
EC-22-G | 532 | 0.4 | 9 | 0.7 | 玻璃 | |
EC-11-G | 532 | 1.0 | 9 | 1.0 | 玻璃 | |
EC-13-G | 532 | 3.0 | 9 | 1.7 | 玻璃 | |
EC-22-U | 355 | 0.4 | 9 | 0.5 | ||
EC-11-U | 355 | 1.0 | 9 | 0.7 | ||
EC-13-U | 355 | 3.0 | 9 | 1.2 | ||
EC-020-65 | 2000 | 65.0 | 55 | 110.0 |